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主要技術(shù)指標：
1) 常溫空載極限真空度：優(yōu)于8×10-5Pa（空載，常溫20℃～30℃條件下，>10小時，放氣率按超過10小時計算，否則達不到10-5Pa）；
2) 常溫空載情況下能夠在4小時內(nèi)將容器抽至優(yōu)于5.0×10-4Pa。
3) 真空系統(tǒng)漏率：＜5х10-9 Pa?m3/s;
4）熱沉溫度優(yōu)于100K；
熱沉達到100K穩(wěn)定后，溫度均勻性優(yōu)于±5℃；
試件控制溫度范圍：-170℃~ +150℃；
被試件溫度控制精度：±1℃（溫度穩(wěn)定下測量）
被試件溫度變化速率：≥1℃/min（變化速率在驗收試件上測量）；升溫從-70℃到+85℃全程平均，降溫從+85℃到-70℃全程平均；
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